Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Artículos en revistas:
High aspect-ratio SU-8 resist nano-pillar lattice by e-beam direct writing and its application for liquid trapping
Año:2009
Áreas de investigación
  • Ingenieria mecanica,
  • Materiales magnéticos
Datos
Descripción
We report the fabrication of periodic lattices of high aspect-ratio nano-pillars made of SU-8 polymeric material by using direct electron-beam writing. Process parameters are optimized in order to control proximity effects and photoacid-generator diffusion determining feature resolution and material stiffness. We demonstrate nanostructured surfaces consisting of lattices of SU-8 nano-pillars with aspectratio as high as 3.8:1, improving previous reported results significantly. We also show the capability of these structures to trap liquid¿water infiltrated among the SU-8 nano-pillars after proper chemical treatment.
Internacional
Si
JCR del ISI
Si
Título de la revista
MICROELECTRONIC ENGINEERING
ISSN
0167-9317
Factor de impacto JCR
1,583
Información de impacto
Volumen
87
DOI
doi:10.1016/j.mee.2009.09.007
Número de revista
4
Desde la página
663
Hasta la página
667
Mes
ABRIL
Ranking
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: David Lopez-Romero Moraleda (UPM)
  • Autor: Carlos Angulo Barrios (UPM)
  • Autor: Miguel Holgado Bolaños (UPM)
  • Autor: Maria Fe Laguna Heras (UPM)
  • Autor: Rafael Casquel Del Campo (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Ingeniería y Aplicaciones del Láser
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro Laser
  • Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Departamento: Física Aplicada a la Ingeniería Industrial
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