Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Influence of AlN quality on the Transverse and Longitudinal Coupling Coefficients of Acoustic devices
Año:2009
Áreas de investigación
  • Industria electrónica
Datos
Descripción
The transverse and longitudinal piezoelectric response of AlN polycrystalline thin films is analyzed by means of measurements in surface acoustic wave (SAW) and bulk acoustic wave (BAW) devices fabricated on films of identical characteristics. The crystal quality of the films is correlated with the measured coupling factors; it is found that the presence of grains with the c-axis tilted with respect to the substrate normal is detrimental to the piezoelectric response of AlN. However, the presence of tilted crystal affects differently the longitudinal and transverse response of the devices, degrading more severely the latter as the amount of tilted grains increases. The presence of such defects leads to the destruction of the mechanical coherence in the transverse deformation when the electric field parallel to the surface is applied.
Internacional
Si
Nombre congreso
2009 IEEE International Ultrasonics Symposium
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Roma, Italia
Revisores
Si
ISBN o ISSN
1051-0117
DOI
Fecha inicio congreso
20/09/2009
Fecha fin congreso
23/09/2009
Desde la página
2174
Hasta la página
2177
Título de las actas
2009 IEEE International Ultrasonics Symposium Proc.
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
  • Autor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Autor: Jesus Sangrador Garcia (UPM)
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Departamento: Tecnología Electrónica
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