Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
I. TANARRO, MM. SANZ, M.F. ROMERO, E. MUÑOZ, A. JIMÉNEZ "Plasma and surface diagnostics of silicon nitride thin film coatings" International Symposium of Plasma Chemistry 19 Bochum (Germany), 2009
Año:2009

Áreas de investigación
  • Industria electrónica

Datos
Descripción
Relacionado con Línea de Investigación del Grupo GDS-ISOM, consultar en http://www.isom.upm.es/invdes.php
Internacional
No
Nombre congreso
Relacionado con Línea de Investigación del Grupo GDS-ISOM, consultar en http://www.isom.upm.es/invdes.php
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
International Symposium of Plasma Chemistry 19
Revisores
Si
ISBN o ISSN
0000000000000
DOI
Fecha inicio congreso
27/07/2009
Fecha fin congreso
31/07/2009
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Título de las actas
"Plasma and surface diagnostics of silicon nitride thin film coatings"

Esta actividad pertenece a memorias de investigación

Participantes

Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Ingeniería Electrónica