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Abstract
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| Relacionado con Línea de Investigación del Grupo GDS-ISOM, consultar en http://www.isom.upm.es/invdes.php | |
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International
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No |
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Congress
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Relacionado con Línea de Investigación del Grupo GDS-ISOM, consultar en http://www.isom.upm.es/invdes.php |
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960 |
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Place
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International Symposium of Plasma Chemistry 19 |
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Reviewers
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Si |
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ISBN/ISSN
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0000000000000 |
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Start Date
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27/07/2009 |
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End Date
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31/07/2009 |
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"Plasma and surface diagnostics of silicon nitride thin film coatings" |