Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Artículos en revistas:
D. LÓPEZ-ROMERO, C.A. BARRIOS, M. HOLGADO, M.F. LAGUNA, R. CASQUEL "High aspect-ratio SU-8 resist nano-pillar lattice by e-beam direct writing and its application for liquid trapping" Microelectronic Engineering, 87, 663_667 (2010)
Año:2010
Áreas de investigación
  • Ingenierías
Datos
Descripción
Relacionado con Línea de Investigación del GDS del ISOM
Internacional
Si
JCR del ISI
Si
Título de la revista
MICROELECTRONIC ENGINEERING
ISSN
0167-9317
Factor de impacto JCR
1,488
Información de impacto
Volumen
DOI
Número de revista
87
Desde la página
663
Hasta la página
667
Mes
ENERO
Ranking
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: David Lopez-Romero Moraleda (UPM)
  • Autor: MF LAGUNA
  • Autor: Carlos Angulo Barrios (UPM)
  • Autor: R. CASQUEL
  • Autor: Miguel Holgado Bolaños (UPM)
  • Autor: Maria Fe Laguna Heras (UPM)
  • Autor: Rafael Casquel Del Campo (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Física Aplicada a la Ingeniería Industrial
S2i 2021 Observatorio de investigación @ UPM con la colaboración del Consejo Social UPM
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNCIDE 2011 (OTR-2011-0236)
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNPACTO (IPT-020000-2010-22)