Memorias de investigación
Research Publications in journals:
D. LÓPEZ-ROMERO, C.A. BARRIOS, M. HOLGADO, M.F. LAGUNA, R. CASQUEL "High aspect-ratio SU-8 resist nano-pillar lattice by e-beam direct writing and its application for liquid trapping" Microelectronic Engineering, 87, 663_667 (2010)
Year:2010

Research Areas
  • Engineering

Information
Abstract
Relacionado con Línea de Investigación del GDS del ISOM
International
Si
JCR
Si
Title
MICROELECTRONIC ENGINEERING
ISBN
0167-9317
Impact factor JCR
1,488
Impact info
Volume
Journal number
87
From page
663
To page
667
Month
ENERO
Ranking
Participants

Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Física Aplicada a la Ingeniería Industrial