Artículos en revistas:
D. LÓPEZ-ROMERO, C.A. BARRIOS, M. HOLGADO, M.F. LAGUNA, R. CASQUEL "High aspect-ratio SU-8 resist nano-pillar lattice by e-beam direct writing and its application for liquid trapping" Microelectronic Engineering, 87, 663_667 (2010)
D. LÓPEZ-ROMERO, C.A. BARRIOS, M. HOLGADO, M.F. LAGUNA, R. CASQUEL "High aspect-ratio SU-8 resist nano-pillar lattice by e-beam direct writing and its application for liquid trapping" Microelectronic Engineering, 87, 663_667 (2010)
Año:2010
Áreas de investigación
-
Ingenierías
Datos
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Descripción
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| Relacionado con Línea de Investigación del GDS del ISOM | |
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Internacional
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Si |
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JCR del ISI
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Si |
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Título de la revista
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MICROELECTRONIC ENGINEERING |
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ISSN
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0167-9317 |
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Factor de impacto JCR
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1,488 |
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Información de impacto
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Volumen
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DOI
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Número de revista
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87 |
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Desde la página
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663 |
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Hasta la página
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667 |
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Mes
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ENERO |
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Ranking
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Participantes
- Autor: David Lopez-Romero Moraleda (UPM)
- Autor: MF LAGUNA
- Autor: Carlos Angulo Barrios (UPM)
- Autor: R. CASQUEL
- Autor: Miguel Holgado Bolaños (UPM)
- Autor: Maria Fe Laguna Heras (UPM)
- Autor: Rafael Casquel Del Campo (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
- Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
- Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
- Departamento: Física Aplicada a la Ingeniería Industrial
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