Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Assessment of solidly mounted resonators with wide-band asymmetric acoustic reflectors
Año:2010
Áreas de investigación
  • Tecnología electrónica y de las comunicaciones
Datos
Descripción
We investigate the influence of the structure of acoustic reflectors on the quality factors of solidly mounted bulk acoustic wave resonators made of aluminum nitride. We compare the quality factors of resonators built on conventional ¿/4 Bragg reflectors with those of resonators fabricated on asymmetric acoustic reflectors composed of layers of thicknesses different from ¿/4. The two kinds of reflectors are made of porous silicon dioxide and iridium as low and high acoustic impedance materials, respectively. We assess the effective electromechanical coupling factor and the quality factor of various resonators tuned at different frequencies within the reflector band. The effective electromechanical coupling factor is roughly constant at around 6.3% for all the devices. For the symmetric reflectors the quality factor at the antiresonant frequency reaches a minimum at the centre of the band, whereas it remains roughly constant in the whole band for the asymmetric reflectors. This is attributed to the greater reflection of shear waves in the center of the band provided by the asymmetric reflectors.
Internacional
Si
Nombre congreso
2010 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
San Diego, EE. UU.
Revisores
Si
ISBN o ISSN
1051-0117
DOI
Fecha inicio congreso
11/10/2010
Fecha fin congreso
14/10/2010
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Título de las actas
2010 IEEE International Ultrasonics Symposium Proceedings
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Autor: Enrique Wegmann . (UPM)
  • Autor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
  • Autor: José Capilla Osorio (UPM)
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
  • Autor: Jesus Sangrador Garcia (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Departamento: Tecnología Electrónica
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