Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Proyecto de I+D+i:
PELICULAS DELGADAS DE MATERIALES PIEZOELECTRICOS PARA APLICACIONES EN RESONADORES DE ONDAS ACUSTICAS DE VOLUMEN: NITRURO DE ALUMINIO Y NUEVOS OXIDOS COMPLEJOS FE
Año:2010
Áreas de investigación
  • Tecnología electrónica y de las comunicaciones
Datos
Descripción
En este proyecto se abordó el depósito de capas delgadas de AlN para resonadores FBAR de alta frecuencia (> 3GHz). Se aúnan los campos de los resonadores acústicos y el de los dispositivos MEMS, en los que el GMME ha incidido en los últimos años. Se desarrolla la tecnología de fabricación de resonadores FBAR adaptando las tecnologías de micromecanizado en superficie desarrolladas para microsistemas en otro proyecto del Plan Nacional no incluido aquí.
Internacional
No
Tipo de proyecto
Proyectos y convenios en convocatorias públicas competitivas
Entidad financiadora
Ministerio de Educación y Ciencia
Nacionalidad Entidad
ESPAÑA
Tamaño de la entidad
Desconocido
Fecha concesión
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Director: Enrique Iborra Grau (UPM)
  • Participante: Jesus Sangrador Garcia (UPM)
  • Participante: Marta Clement Lorenzo (UPM)
  • Participante: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Participante: Jose Ignacio Izpura Torres (UPM)
  • Participante: Javier Malo Gomez (UPM)
  • Participante: José Capilla Osorio (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Departamento: Sistemas Electrónicos y de Control
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
  • Departamento: Tecnología Electrónica
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