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Abstract
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| En este proyecto, en fase de desarrollo, se propone el estudio sistemático de capas finas de materiales con funcionalidades diversas y de tecnologías de microfabricación para su aplicación en dispositivos de actuación piezoeléctrica basados en nitruro de aluminio (AlN), como resonadores de ondas acústicas de volumen (BAW) para filtrado de señales de radio de muy alta frecuencia o sensores gravimétricos para la detección de agentes biológicos en medio líquido. | |
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International
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No |
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Project type
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Proyectos y convenios en convocatorias públicas competitivas |
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Company
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Ministerio de Ciencia e Innovación |
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Entity Nationality
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ESPAÑA |
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Entity size
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Desconocido |
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Granting date
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