{"id":10349,"date":"2022-07-27T12:36:23","date_gmt":"2022-07-27T10:36:23","guid":{"rendered":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/offers-resources\/sin categor\u00eda\/medidas-de-espesor-y-caracterizacion-optica-de-laminas-delgadas\/"},"modified":"2022-07-27T12:36:32","modified_gmt":"2022-07-27T10:36:32","slug":"medidas-de-espesor-y-caracterizacion-optica-de-laminas-delgadas","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/offers-resources\/servicios-cientifico-tecnologico\/servicios-servicios-cientifico-tecnologico\/medidas-de-espesor-y-caracterizacion-optica-de-laminas-delgadas\/","title":{"rendered":"Medidas de espesor y caracterizaci\u00f3n \u00f3ptica de l\u00e1minas delgadas"},"content":{"rendered":"<h2>Servicio cient&iacute;fico &#8211; tecnol&oacute;gico<\/h2>\n<h4>Medidas de espesor y caracterizaci&oacute;n &oacute;ptica de l&aacute;minas delgadas<br \/><!--  tarifado --><\/h4>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h4>Descripci&oacute;n de los servicios que se ofrecen <!-- y tarifas --><\/h4>\n<p>Medida de espesores de magnitudes micro y nanom&eacute;tricas a partir del espectro en reflexi&oacute;n de la l&aacute;mina delgada. A su vez, caracterizaci&oacute;n del &iacute;ndice de refracci&oacute;n del material que forma esa l&aacute;mina.<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h4>Necesidades demandadas y aplicaciones<\/h4>\n<p>Muchas de las aplicaciones en las que se emplean l&aacute;minas delgadas requieren de espesores determinados, es por ello imprescindible la caracterizaci&oacute;n de &eacute;stos. A su vez, el c&aacute;lculo del &iacute;ndice de refracci&oacute;n de un material desconocido puede aportar informaci&oacute;n sobre &eacute;ste, adem&aacute;s de servir para su caracterizaci&oacute;n y simulaciones &oacute;pticas que se quieran realizar con este material.<\/p>\n<hr \/>\n<h4>Sector o &aacute;rea de aplicaci&oacute;n<\/h4>\n<p>Micro y nano fabricaci&oacute;n. Caracterizaci&oacute;n &oacute;ptica.<\/p>\n<hr \/>\n<h4>Competencias diferenciales<\/h4>\n<p>Los equipos utilizados para este servicio ofrecen una precisi&oacute;n de medida muy competitiva frente a los disponibles en el mercado. Adem&aacute;s, gracias al uso de objetivos de microscopio, es posible medir &aacute;reas microm&eacute;tricas.<\/p>\n<hr \/>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<h4>Descripci&oacute;n del equipamiento<\/h4>\n<p>La instalaci&oacute;n dispone de diferentes equipos para la caracterizaci&oacute;n &oacute;ptica de l&aacute;minas delgadas. Desde el m&aacute;s simple hasta el m&aacute;s sofisticado. En funci&oacute;n de las necesidades del demandante se le ofrecer&aacute; uno u otro.<\/p>\n<p><strong>Espectr&oacute;metro dispersivo<\/strong>: F20-UV, de la casa Filmetrics, el cual es capaz de medir espesores de l&aacute;minas semitransparentes de hasta 20 &mu;m en reflexi&oacute;n. En este caso, la ventana espectral que abarca es de 200 a 1100 nm, pues el Filmetrics utiliza dos l&aacute;mparas al mismo tiempo, una de deuterio y otra hal&oacute;gena. La resoluci&oacute;n del equipo es de 1 nm y el di&aacute;metro del haz en la medida puede ser de 200 &mu;m o 2 mm. Las medidas se procesan a trav&eacute;s del sistema propietario FilMeasure, mediante recetas de medida seg&uacute;n la tipolog&iacute;a de medida que se quiera realizar.&nbsp;<\/p>\n<ul>\n<li>Objetivos &oacute;pticos: 4x<\/li>\n<li>Tama&ntilde;o de haz: haz grande (1 mm), haz reducido (200 mm).<\/li>\n<li>Fuente de luz: l&aacute;mpara de luz blanca para medidas en VIS-NIR; Posibilidad de uso de l&aacute;mpara UV.<\/li>\n<li>Alimentaci&oacute;n: Conexi&oacute;n a corriente el&eacute;ctrica.<\/li>\n<li>Adquisici&oacute;n de se&ntilde;al: Espectr&oacute;metro.<\/li>\n<li>Extras: Oblea de calibraci&oacute;n de &Oacute;xido de silicio sobre silicio. Oblea de silicio de referencia.<\/li>\n<li>Uso general del equipo a trav&eacute;s del software propietario FilMeasure.<\/li>\n<\/ul>\n<p><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/i.ibb.co\/qg4M7Mh\/FILMETRICS.png\" alt=\"\" width=\"288\" height=\"384\" \/><\/p>\n<p><strong>Espectrometr&iacute;a de Transformada de Fourier en Infrarrojo y Visible FTIR-VIS:<\/strong> El sistema dispone de un interfer&oacute;metro Michelson. La medida obtenida es la de un interferograma (eje de abscisas contiene las distintas longitudes del espejo y las ordenadas la intensidad recogida por un detector) convertido mediante la Trasformada de Fourier en un espectro simple en reflexi&oacute;n o transmisi&oacute;n en el rango visible-infrarrojo cercano e infrarrojo medio. Realiz&aacute;ndose previamente un espectro simple de un substrato, al dividir el espectro simple de la muestra y el de la referencia se obtiene el espectro del material. El quipo es de la casa Bruker con utiliza un filamento de tungsteno que emite luz infrarroja cercana y una l&aacute;mpara hal&oacute;gena para el visible. Dispone de un rango espectral muy amplio (desde 28000 cm<sup>-1<\/sup> hasta los 15 cm<sup>-1<\/sup>) y una resoluci&oacute;n m&iacute;nima de 0.5 cm<sup>-1<\/sup>. El aparato est&aacute; conectado a un microscopio Hyperion 1000 de la misma casa comercial con diferentes objetivo y magnificaciones, y ofrece un sistema de microposicionamiento.<\/p>\n<ul>\n<li>Objetivos &oacute;pticos: 4x\/15x\/36x\/40x<\/li>\n<li>Fuente de luz: l&aacute;mpara de luz blanca para medidas en VIS-NIR; l&aacute;mpara de infrarrojo medio.<\/li>\n<li>Alimentaci&oacute;n: Conexi&oacute;n a corriente el&eacute;ctrica.<\/li>\n<li>Adquisici&oacute;n de se&ntilde;al: Diferentes fotodetectores (Si, GaP). Obtenci&oacute;n de la se&ntilde;al espectrosc&oacute;pica mediante transformada de Fourier.<\/li>\n<li>Extras: fotomultiplicador para la funci&oacute;n macro, posibilidad de fuente externa.<\/li>\n<li>Uso general del equipo a trav&eacute;s del software propietario OPUS.<\/li>\n<\/ul>\n<p><img decoding=\"async\" src=\"\/i.ibb.co\/BHDkRPM\/FTIR-baja-resol.jpg\" alt=\"\" \/><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/i.ibb.co\/BHDkRPM\/FTIR-baja-resol.jpg\" alt=\"\" width=\"331\" height=\"249\" \/><\/p>\n<p><strong>Elipsometr&iacute;a (N-GAUGE):<\/strong> El equipo ngauge permite realizar medidas de reflectometr&iacute;a en funci&oacute;n del &aacute;ngulo de incidencia y de la polarizaci&oacute;n sobre obleas o chips, en &aacute;reas submicrom&eacute;tricas, debido a la incorporaci&oacute;n de un objetivo de microscopio de alta apertura num&eacute;rica (Objetivo 150, NA 0.95). Las medidas se pueden usar para medir espesores y propiedades &oacute;pticas de materiales en capas delgadas, a trav&eacute;s del software controlador del equipo. Tambi&eacute;n puede ser usado como microscopio &oacute;ptico convencional, a trav&eacute;s del software controlador de una de las c&aacute;maras (c&aacute;mara de luz visible).<\/p>\n<ul>\n<li>Objetivos &oacute;pticos: 5x, 20x, 50x, 150x.<\/li>\n<li>Fuente de luz: L&aacute;ser a 637 nm, l&aacute;mpara de luz blanca para la funci&oacute;n de microscopio.<\/li>\n<li>Alimentaci&oacute;n: Conexi&oacute;n a corriente el&eacute;ctrica.<\/li>\n<li>Adquisici&oacute;n de se&ntilde;al: c&aacute;mara monocrom&aacute;tica de alta resoluci&oacute;n, c&aacute;mara de espectro visible para la funci&oacute;n de microscopio.<\/li>\n<\/ul>\n<p><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/i.ibb.co\/VCbY208\/n-gauge-baja-resol.jpg\" alt=\"\" width=\"279\" height=\"419\" \/><\/p>\n<hr \/>\n<h4>Solicitud del servicio<\/h4>\n<p>Contactar v&iacute;a mail indicando en el asunto &ldquo;PRESTACI&Oacute;N DE SERVICIO&rdquo; y en el cuerpo del e-mail el servicio del que se trata y una descripci&oacute;n aproximada de lo que se quiere realizar y tiempo necesario.<\/p>\n<p>Mails de contacto: <a href=\"mailto:<span rel=\"83312a30bf3125319d312d3175312a31b3312f3196310430bf313331a2312231b0311230b1312831a931\" class=\"cryptex \" style=\"\"><span class=\"CryptexImg ctxZ5zl9HoVnZNEqzBxjsG0JnLi0uIUNxOYBTvRE3cwReE\"><\/span><\/span>\"><span rel=\"83312a30bf3125319d312d3175312a31b3312f3196310430bf313331a2312231b0311230b1312831a931\" class=\"cryptex \" style=\"\"><span class=\"CryptexImg ctxZ5zl9HoVnZNEqzBxjsG0JnLi0uIUNxOYBTvRE3cwReE\"><\/span><\/span><\/a> o <a href=\"mailto:<span rel=\"83312a3098311c31ab313631bc310f30b7312a31a2313031b9313331a2312b31ad3121318e312e31ac31273163311431b931\" class=\"cryptex \" style=\"\"><span class=\"CryptexImg ctx371SbuyzjLy4ZCKuk_QCKRsKtT-QLncX1MmdIFqjkaY\"><\/span><\/span>\"><span rel=\"83312a30b8311c31ab313631bc310f30b7312a31a2313031b9313331a2312b31ad3121318e312e31ac31273163311431b931\" class=\"cryptex \" style=\"\"><span class=\"CryptexImg ctxRF8ZoT4XTy1M2NiT3l6jBlSkihRczS9MpsP31WotjE4\"><\/span><\/span><\/a><\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<div class=\"pdfprnt-buttons pdfprnt-buttons-product pdfprnt-bottom-left\"><a href=\"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/product\/10349?print=pdf\" class=\"pdfprnt-button pdfprnt-button-pdf\" target=\"_blank\"><span class=\"pdfprnt-button-title pdfprnt-button-pdf-title\">Descargar ficha<\/span><\/a><\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Utilizaci\u00f3n de equipos de caracterizaci\u00f3n \u00f3ptica para la medida de espesores de l\u00e1minas delgadas e \u00edndice de refracci\u00f3n. <\/p>\n","protected":false},"featured_media":10346,"template":"","meta":{"_acf_changed":false},"product_cat":[2395],"product_tag":[2642,3439,3440,2672,3441],"comunidades-upm":[],"quien":[],"mapa":[{"term_id":137,"name":"Bioeconom\u00eda, Biotecnolog\u00eda y Sistemas 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