{"id":8396,"date":"2021-11-25T14:05:52","date_gmt":"2021-11-25T13:05:52","guid":{"rendered":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/offers-resources\/sin categor\u00eda\/reactor-epitaxial-de-alta-densidad-de-susceptores-calentado-por-efecto-joule-y-con-recirculacion-de-gases\/"},"modified":"2022-08-10T02:03:20","modified_gmt":"2022-08-10T00:03:20","slug":"reactor-epitaxial-de-alta-densidad-de-susceptores-calentado-por-efecto-joule-y-con-recirculacion-de-gases","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/offers-resources\/patentes\/reactor-epitaxial-de-alta-densidad-de-susceptores-calentado-por-efecto-joule-y-con-recirculacion-de-gases\/","title":{"rendered":"Reactor epitaxial de alta densidad de susceptores, calentado por efecto Joule y con recirculaci\u00f3n de gases"},"content":{"rendered":"<h5>Descripci\u00f3n de la patente <\/h5>\n<p>Se describe un reactor epitaxial de alto rendimiento que produce obleas a gran escala para industria fotovoltaica. Su principal innovaci\u00f3n es la elevada densidad de apilamiento de susceptores, separados unos 4 cms. \u00c9stos se colocan verticales, paralelos entre s\u00ed, interconectados, y se calientan por efecto Joule. La corriente llega por pasamuros especialmente dise\u00f1ados, que conectan el exterior (temperatura ambiente), con los susceptores (1000 \u00baC). Un gas fluye entre susceptores. Unos sustratos se colocan sobre \u00e9stos. Debajo de ellos se encuentra una antec\u00e1mara, para distribuir el gas entrante de forma homog\u00e9nea y eliminar turbulencias. Todo est\u00e1 dentro de una c\u00e1mara de acero inoxidable, recubierta internamente de material reflectante, y enfriada externamente por agua. Susceptores y antec\u00e1mara est\u00e1n fijos a un panel posterior de conexiones, que tambi\u00e9n contiene pasamuros el\u00e9ctricos, pasamuros de termopares, y entrada y salida de gases. Los gases de salida se recirculan parcialmente, ahorrando gas y aumentando la eficiencia.<\/p>\n<h5>Situaci\u00f3n <\/h5>\n<p>Concedida<\/p>\n<h5>N\u00famero de solicitud<\/h5>\n<p>P200501461<\/p>\n<h5>N\u00famero de publicaci\u00f3n<\/h5>\n<p>ES2268974<\/p>\n<h5>Fecha de presentaci\u00f3n <\/h5>\n<p>16\/06\/2005<\/p>\n<h5>Fecha de concesi\u00f3n <\/h5>\n<p>08\/11\/2007<\/p>\n<h4><strong>Extensiones Internacionales<\/strong><\/h4>\n<h5>EUROPA<\/h5>\n<p><strong>Referencia de la solicitud: <\/strong>EP06794026.2<br \/>\n<br \/><strong>T\u00edtulo:\t\t\t\t\t   <\/strong>Epitaxial reactor for massproduction of wafers<br \/><strong>Situacion: \t\t\t\t   <\/strong>Concedida<\/p>\n<h5>PA\u00cdSES<\/h5>\n<p><strong>Pa\u00eds: <\/strong>Alemania<br \/><strong>N\u00famero de solicitud: <\/strong>06794026.2<br \/><strong>Titulo: <\/strong>Epitaxial reactor for massproduction of wafers<br \/><strong>Situaci\u00f3n: <\/strong>Concedida<br \/><strong>Pa\u00eds: <\/strong>Francia<br \/><strong>N\u00famero de solicitud: <\/strong>06794026.2<br \/><strong>Titulo: <\/strong>Epitaxial reactor for massproduction of wafers<br \/><strong>Situaci\u00f3n: <\/strong>Concedida<br \/><strong>Pa\u00eds: <\/strong>EEUU<br \/><strong>N\u00famero de solicitud: <\/strong>US 11\/921,959  <br \/><strong>Titulo: <\/strong>Epitaxial reactor for massproduction of wafers<br \/><strong>Situaci\u00f3n: <\/strong>Concedida<br \/><strong>Pa\u00eds: <\/strong>Holanda<br \/><strong>N\u00famero de solicitud: <\/strong>2045373<br \/><strong>Titulo: <\/strong>Epitaxial reactor for massproduction of wafers<br \/><strong>Situaci\u00f3n: <\/strong>Concedida<br \/><strong>Pa\u00eds: <\/strong>Reino Unido<br \/><strong>N\u00famero de solicitud: <\/strong>06794026.2<br \/><strong>Titulo: <\/strong>Epitaxial reactor for massproduction of wafers<br \/><strong>Situaci\u00f3n: <\/strong>Concedida<\/p>\n<div class=\"pdfprnt-buttons pdfprnt-buttons-product pdfprnt-bottom-left\"><a href=\"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/product\/8396?print=pdf\" class=\"pdfprnt-button pdfprnt-button-pdf\" target=\"_blank\"><span class=\"pdfprnt-button-title pdfprnt-button-pdf-title\">Descargar ficha<\/span><\/a><\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Descripci\u00f3n de la patente Se describe un reactor epitaxial de alto rendimiento que produce obleas a gran escala para industria fotovoltaica. 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Rodr\u00edguez Sansegundo <blockquote><strong><\/strong><\/blockquote><\/li><li>IGNACIO TOBIAS GALICIA <blockquote><strong>ignacio.tobias@upm.es<\/strong><\/blockquote><\/li><li>JUAN CARLOS ZAMORANO . <blockquote><strong><\/strong><\/blockquote><\/li><li>ANTONIO LUQUE LOPEZ <blockquote><strong>a.luque@upm.es<\/strong><\/blockquote><\/li><\/ul><strong>Otros inventores UPM: <\/strong><ul><li>Rodr\u00edguez San Segundo, Hugo Jos\u00e9<\/li><li>Zamorano Saavedra, Juan Carlos<\/li><\/ul>","telefono":"","pagina_web":"","email":"","id_ficha_portal":"52","video":"","adjuntos":false,"adjuntos_portal":"https:\/\/www.upm.es\/S2i\/Acuse\/recuperarArchivo.jsp?id=52&id_archivo=145&tipo=patente&extension=fichero","inf":false,"departamento":"","acf":[],"lang":"es","translation":{"es":8396},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/product\/8396"}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=8396"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=8396"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=8396"},{"taxonomy":"comunidad_upm","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/comunidades-upm?post=8396"},{"taxonomy":"quien","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/quien?post=8396"},{"taxonomy":"mapa","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/mapa?post=8396"},{"taxonomy":"disponibilidad","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/disponibilidad?post=8396"},{"taxonomy":"donde","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/donde?post=8396"},{"taxonomy":"infraestructura","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/infraestructura?post=8396"},{"taxonomy":"ods","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/ods?post=8396"},{"taxonomy":"origen","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/wp-json\/wp\/v2\/origen?post=8396"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}