{"id":8460,"date":"2021-11-25T14:08:31","date_gmt":"2021-11-25T13:08:31","guid":{"rendered":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/offers-resources\/sin categor\u00eda\/dispositivo-de-filtrado-de-ondas-acusticas-de-volumen\/"},"modified":"2022-08-10T02:06:26","modified_gmt":"2022-08-10T00:06:26","slug":"dispositivo-de-filtrado-de-ondas-acusticas-de-volumen","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.upm.es\/recursosidi\/offers-resources\/patentes\/dispositivo-de-filtrado-de-ondas-acusticas-de-volumen\/","title":{"rendered":"Dispositivo de filtrado de ondas ac\u00fasticas de volumen"},"content":{"rendered":"
Descripci\u00f3n de la patente <\/h5>\n

Dispositivo de filtrado de ondas ac\u00fasticas de volumen BAW, que comprende una pluralidad de filtros, con una pluralidad de resonadores, con frecuencias de resonancia diferentes integrados en un sustrato com\u00fan, cuyo m\u00e9todo de fabricaci\u00f3n comprende:
\n– depositar una estructura de aislamiento ac\u00fastico y el\u00e9ctrico (2, 3) sobre la superficie superior de un sustrato,
\n– depositar una capa de un metal como electrodo inferior (4) y semilla para el crecimiento de la capa subsiguiente,
\n– depositar secuencialmente una pluralidad de capas delgadas de material piezoel\u00e9ctrico (5, 6) sobre el electrodo inferior (4), situadas en las posiciones donde un resonador, con la frecuencia correspondiente al espesor de dichas capas, se quiera situar, y su posterior grabado,
\n– eliminar todo el material usado como m\u00e1scara en el grabado realizado,
\n– depositar, sobre todos los resonadores, una capa met\u00e1lica de espesor constante, que constituye el electrodo superior (7) de cada resonador de cada filtro.<\/p>\n

Situaci\u00f3n <\/h5>\n

Concedida<\/p>\n

N\u00famero de solicitud<\/h5>\n

P200900936<\/p>\n

N\u00famero de publicaci\u00f3n<\/h5>\n

ES2327890<\/p>\n

Fecha de presentaci\u00f3n <\/h5>\n

06\/04\/2009<\/p>\n

Fecha de concesi\u00f3n <\/h5>\n

03\/05\/2010<\/p>\n

Descargar ficha<\/span><\/a><\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

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  • MARTA CLEMENT LORENZO
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