Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Research Project:
Tecnologías para la fabricación de microsistemas electromecánicos (MEMS) basados en el accionamiento piezoeléctrico con nitruro de aluminio (AlN): Optimización de los materiales y de su procesado
Year:2007
Research Areas
  • Electronics engineering
Information
Abstract
La presente propuesta plantea el desarrollo de una tecnología para la fabricación de microsistemas electromecánicos (MEMS) accionados piezoeléctricamente usando como material activo nitruro de aluminio depositado en película delgada por pulverización reactiva. Se propone desarrollar una tecnología que sea compatible con los materiales y procesos usados habitualmente en las tecnologías del silicio. Será asimismo compatible con otros tipos de sustratos como vidrios o cerámicas. Como demostradores de la tecnología desarrollada se propone fabricar un micro-interruptor para líneas de RF o microondas y un sensor químico basado en un micro-resonador piezoeléctrico recubierto de polímeros selectivos. La elección de los dos dispositivos demostradores se ha basado en el análisis de las necesidades de grupos de investigación potencialmente usuarios. La consecución de este proyecto permitirá al grupo adquirir los conocimientos y técnicas esenciales para el desarrollo de estructuras MEMS que tendrán como resultado la consolidación de las colaboraciones existentes en el entorno nacional y el establecimiento de nuevas colaboraciones con otros grupos de I+D y empresas del entorno europeo que, no disponiendo de este tipo de tecnologías, han mostrado ya su interés por ellas para las aplicaciones específicas de sus campos.
International
No
Project type
Proyectos y convenios en convocatorias públicas competitivas
Company
Ministerio de Educación y Ciencia
Entity Nationality
ESPAÑA
Entity size
Desconocido
Granting date
28/12/2005
Participants
  • Director: Enrique Iborra Grau (UPM)
  • Participante: Sheila González Castilla (UPM)
  • Participante: Lucía Vergara Herrero (UPM)
  • Participante: Marta Clement Lorenzo (UPM)
  • Participante: Jesus Sangrador Garcia (UPM)
  • Participante: Jimena Olivares Roza (UPM)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y materiales electrónicos
  • Departamento: Tecnología Electrónica
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