Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Communications at congresses:
Metrología óptica dimensional para la determinación de espesores en estructuras submicrométricas
Year:2008
Research Areas
  • Fluid mechanics,
  • Polymers,
  • Electronics engineering,
  • Magnetic materials
Information
Abstract
En este trabajo se presenta el análisis de una técnica de metrología óptica utilizada para el control de procesos en línea en la fabricación de microchips. Se obtienen los perfiles de reflectividad en función del ángulo de incidencia para una longitud de onda de 675 nm, para los estados de polarización s y p. Se obtiene un modelo teórico para una estructura multicapa, con la que se pueden calcular de forma sencilla las propiedades ópticas y dimensiones de las capas. Se obtiene la incertidumbre de la técnica de medida.
International
No
Congress
XVII Congreso Nacional de Ingeniería Mecánica
960
Place
Gijón
Reviewers
Si
ISBN/ISSN
0212-5072
Start Date
14/02/2008
End Date
15/02/2008
From page
499
To page
504
Actas del XVII Congreso Nacional de Ingeniería Mecánica
Participants
  • Autor: Rafael Casquel Del Campo (UPM)
  • Autor: Jose Luis Ocaña Moreno (UPM)
  • Autor: Angel M. Sanchez Perez (UPM)
  • Autor: Miguel Holgado Bolaños (UPM)
  • Autor: Carlos Luis Molpeceres Alvarez (UPM)
  • Autor: Miguel Morales Furio (UPM)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Ingeniería y Aplicaciones del Láser
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro Laser
  • Departamento: Física Aplicada a la Ingeniería Industrial
S2i 2019 Observatorio de investigación @ UPM con la colaboración del Consejo Social UPM
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