Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Research Publications in journals:
Metrología óptica dimensional submicrométrica para determinación de espesores en sub-micro estructuras
Year:2008
Research Areas
  • Naval engineering
Information
Abstract
En este trabajo se presenta el análisis de una técnica de metrología óptica utilizada para el control de procesos en línea en la fabricación de microchips. Se obtienen los perfiles de reflectividad en función del ángulo de incidencia para una longitud de onda de 675 nm, para los estados de polarización s y p. Se obtiene un modelo teórico para una estructura multicapa, con la que se pueden calcular de forma sencilla las propiedades ópticas y dimensiones de las capas. Se obtiene la incertidumbre de la técnica de medida.
International
No
JCR
No
Title
Anales de Ingeniería Mecánica
ISBN
0212-5072
Impact factor JCR
0
Impact info
Volume
16
Journal number
0
From page
499
To page
504
Month
ENERO
Ranking
Participants
  • Autor: Rafael Casquel Del Campo (UPM)
  • Autor: Carlos Luis Molpeceres Alvarez (UPM)
  • Autor: Jose Luis Ocaña Moreno (UPM)
  • Autor: Miguel Holgado Bolaños (UPM)
  • Autor: Miguel Morales Furio (UPM)
  • Autor: Angel M. Sanchez Perez (UPM)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Ingeniería y Aplicaciones del Láser
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro Laser
  • Departamento: Física Aplicada a la Ingeniería Industrial
S2i 2019 Observatorio de investigación @ UPM con la colaboración del Consejo Social UPM
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