Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Plasma and surface diagnostics of silicon nitride thin film coatings generated by SiH4+NH3 RF discharges
Año:2008
Áreas de investigación
  • Industria electrónica
Datos
Descripción
RELACIONADO CON LINEA DE INVESTIGACIÓN DEL GRUPO
Internacional
Si
Nombre congreso
XXI Reunión Nacional de Espectroscopia V Congreso Ibérico de Espectroscopía Murcia (España), 2008
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Murcia (España), 2008
Revisores
Si
ISBN o ISSN
0000-0000
DOI
Fecha inicio congreso
09/09/2008
Fecha fin congreso
11/09/2008
Desde la página
143
Hasta la página
143
Título de las actas
XXI Reunión Nacional de Espectroscopia V Congreso Ibérico de Espectroscopía Murcia (España), 2008
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: A. Jiménez
  • Autor: I. Tanarro
  • Autor: Fatima Romero Rojo (UPM)
  • Autor: María del Mar Sanz Lluch
  • Autor: Elias Muñoz Merino (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
S2i 2022 Observatorio de investigación @ UPM con la colaboración del Consejo Social UPM
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNCIDE 2011 (OTR-2011-0236)
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNPACTO (IPT-020000-2010-22)