Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Plasma and surface diagnostics of silicon nitride thin film coatings generated by SiH4+NH3 RF discharges
Año:2008

Áreas de investigación
  • Industria electrónica

Datos
Descripción
RELACIONADO CON LINEA DE INVESTIGACIÓN DEL GRUPO
Internacional
Si
Nombre congreso
XXI Reunión Nacional de Espectroscopia V Congreso Ibérico de Espectroscopía Murcia (España), 2008
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Murcia (España), 2008
Revisores
Si
ISBN o ISSN
0000-0000
DOI
Fecha inicio congreso
09/09/2008
Fecha fin congreso
11/09/2008
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143
Hasta la página
143
Título de las actas
XXI Reunión Nacional de Espectroscopia V Congreso Ibérico de Espectroscopía Murcia (España), 2008

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Participantes

Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Ingeniería Electrónica