Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Communications at congresses:
Plasma and surface diagnostics of silicon nitride thin film coatings generated by SiH4+NH3 RF discharges
Year:2008
Research Areas
  • Electronics engineering
Information
Abstract
RELACIONADO CON LINEA DE INVESTIGACIÓN DEL GRUPO
International
Si
Congress
XXI Reunión Nacional de Espectroscopia V Congreso Ibérico de Espectroscopía Murcia (España), 2008
960
Place
Murcia (España), 2008
Reviewers
Si
ISBN/ISSN
0000-0000
Start Date
09/09/2008
End Date
11/09/2008
From page
143
To page
143
XXI Reunión Nacional de Espectroscopia V Congreso Ibérico de Espectroscopía Murcia (España), 2008
Participants
  • Autor: A. Jiménez
  • Autor: I. Tanarro
  • Autor: Fatima Romero Rojo (UPM)
  • Autor: María del Mar Sanz Lluch
  • Autor: Elias Muñoz Merino (UPM)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
S2i 2020 Observatorio de investigación @ UPM con la colaboración del Consejo Social UPM
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNCIDE 2011 (OTR-2011-0236)
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNPACTO (IPT-020000-2010-22)