Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Research Publications in journals:
Porous silicon oxide sacrificial layers deposited by pulsed-direct current magnetron sputtering for microelectromechanical systems
Year:2010
Research Areas
Information
Abstract
International
Si
JCR
Si
Title
THIN SOLID FILMS
ISBN
0040-6090
Impact factor JCR
1,909
Impact info
Volume
518
10.1016/j.tsf.2010.03.013
Journal number
18
From page
5128
To page
5133
Month
SIN MES
Ranking
Participants
  • Autor: j. olivares (UPM)
  • Autor: m. clement (UPM)
  • Autor: s. gonzalez-castilla (UPM)
  • Autor: vergara, l. .
  • Autor: e. iborra (UPM)
  • Autor: j. sangrador (UPM)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: No seleccionado
  • Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Departamento: Tecnología Electrónica
S2i 2019 Observatorio de investigación @ UPM con la colaboración del Consejo Social UPM
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNCIDE 2011 (OTR-2011-0236)
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNPACTO (IPT-020000-2010-22)