Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Experimental comparison of FBARs and SMRs responsitivities to mass loadings
Año:2012
Áreas de investigación
  • Tecnología electrónica y de las comunicaciones
Datos
Descripción
The utilisation of thin film technology to develop film bulk acoustic resonators (FBARs) and solidly mounted resonators (SMRs), offers great potential to outperform the sensitivity and minimum detection limit of gravimetric sensors. Up to now, the choice between FBARs and SMRs depends primarily on the users? ability to design and fabricate Bragg reflectors and/or membranes, because neither of these two types of resonators has been demonstrated to be superior to the other. In the work reported here, it is shown that identically designed FBARs and SMRs resonating at the same frequency exhibit different responsitivities, Rm, to mass loadings, being the FBARs more responsive than the SMRs. For the specific device design and resonant frequency (~2 GHz) of the resonators presented, FBARs? mass responsitivity is ~20% greater than that of SMRs, and although this value should not be taken as universal for all possible device designs, it clearly indicates that FBAR devices should be favoured over SMRs in gravimetric sensing applications.
Internacional
Si
Nombre congreso
International Ultrasonics Symposium
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Dresde, Alemania
Revisores
Si
ISBN o ISSN
978-1-4673-4562-0
DOI
Fecha inicio congreso
07/10/2012
Fecha fin congreso
10/10/2012
Desde la página
1545
Hasta la página
1548
Título de las actas
2012 IEEE International Ultrasonics Symposium Proceedings
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
  • Autor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
  • Autor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Autor: José Capilla Osorio (UPM)
  • Autor: Jorge Pedros Ayala (UPM)
  • Autor: Luis García-Gancedo (University of Cambridge)
  • Autor: J. K. Luo (University of Bolton)
  • Autor: W. I. Milne (Kyung Hee University)
  • Autor: A. J. Flewitt (University of Cambridge)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones
  • Departamento: Tecnología Electrónica
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