Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Artículos en revistas:
Advanced 3D micromachining techniques using UV laser sources.
Año:2007
Áreas de investigación
  • Circuitos electrónicos,
  • Dispositivos electrónicos
Datos
Descripción
Laser systems have been widely applied in the last 20 years in semiconductor industry in microfabrication process development, the current availability of new excimer and diode pumped solid state lasers (DPSS) sources are broadening the applications fields of laser microprocessing. Nowadays MEMs, fluidic devices, advanced sensors and biomedical devices and instruments are among the most promising developments of this technology. In this work we present the main features and potential applications of a fully automated 3D laser micromachining workstation based on the main concept of geometrical flexibility. This system integrates two UV laser sources, excimer and DPSS in ns pulse regime, and an advanced positioning system (with six degrees of freedom) for complex parts machining. Different process developments, ranging from pure planar applications to fully 3D parts machining, are also presented.
Internacional
Si
JCR del ISI
Si
Título de la revista
MICROELECTRON ENG
ISSN
0167-9317
Factor de impacto JCR
1,503
Información de impacto
Volumen
84
DOI
Número de revista
0
Desde la página
1337
Hasta la página
1340
Mes
MAYO
Ranking
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Carlos Luis Molpeceres Alvarez (UPM)
  • Autor: Jose Luis Ocaña Moreno (UPM)
  • Autor: Miguel Morales Furio (UPM)
  • Autor: Juan José García-Ballesteros . (UPM)
  • Autor: Sara Lauzurica Santiago (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Ingeniería y Aplicaciones del Láser
  • Departamento: Física Aplicada a la Ingeniería Industrial
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro Laser
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