Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Picosecond ultrasonics as a helpful technique for introducing a new electrode material en BAW technology: the iridium case
Año:2007
Áreas de investigación
  • Industria electrónica
Datos
Descripción
We present picosecond ultrasonic characterizations on e-beam evaporated Ir thin films and on AlN films deposited by pulsed DC reactive sputtering on Ir. Picosecond ultrasonics is an optical technique which uses ultrashort laser pulses to generate and detect very short acoustic pulses. We first investigate the properties of the Ir films by measuring samples of various thicknesses and deposition parameters. It permits to extract the longitudinal sound velocity, the acoustic impedance and the acoustic losses in the Ir electrode. Second, we focus on AlN on Ir films. We measure the thickness and the sound velocity of an AlN thin layer deposited on an Ir electrode. This work illustrates how useful the picosecond ultrasonic technique can be for introducing a new material in bulk acoustic wave technology.
Internacional
Si
Nombre congreso
2007 IEEE International Ultrasonics Symposium
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Nueva York, Estados Unidos
Revisores
Si
ISBN o ISSN
DOI
Fecha inicio congreso
28/10/2007
Fecha fin congreso
31/10/2007
Desde la página
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Título de las actas
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Participante: Amit Rastogi (Aviza Technology, Inc.)
  • Participante: Arnaud Devos (IENM-CNRS)
  • Autor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
  • Participante: Nick Rimmer (Aviza Technology, Inc.)
  • Autor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y materiales electrónicos
  • Departamento: Tecnología Electrónica
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