Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Increase on siemens reactor throughput by tailoring temperature profile of polysilicon rods
Año:2007
Áreas de investigación
  • Circuitos electrónicos,
  • Dispositivos electrónicos
Datos
Descripción
Siemens process productivity can be limited by non homogeneous temperature profile in polysilicon rods. To overcome this limitation high frequency current sources have been proposed. An analysis is presented which, based on electromagnetic and heat transfer theory, studies temperature and current density profiles within the rods. Two linked differential equations have been numerically solved by use of non-linear methods. The solution of these equations shows that by means of an increase in current frequency, skin effect takes place, heat generation in the inner part of the rod is decreased and therefore temperature homogeneity increases. The effect of high frequency current sources in the rod stability is also analyzed, and it can be derived that resonance problems could appear.
Internacional
Si
Nombre congreso
6th SPANISH CONFERENCE ON ELECTRON DEVICES, PROCEEDINGS
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
El escorial, Madrid
Revisores
Si
ISBN o ISSN
978-1-4244-0868-9
DOI
Fecha inicio congreso
31/01/2007
Fecha fin congreso
02/02/2007
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Título de las actas
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Carlos del Cañizo Nadal (UPM)
  • Autor: Ignacio Tobias Galicia (UPM)
  • Autor: Antonio Luque Lopez (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Silicio y nuevos conceptos para células solares
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto de Energía Solar
  • Departamento: Electrónica Física
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