Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Capítulo de libro:
Plasma basic concepts and nitrogen containing plasmas
Año:2008
Áreas de investigación
  • Materiales magnéticos
Datos
Descripción
well as the typical characterization methods currentlyavailable. A brief overview about some plasmaapplications is given, but focusing on plasma used in material processing mainly devoted to the microelectronics industry. Finally, specific applications related to plasma-assisted MBE for nitridesand dilute nitrides are given, showing some interesting research works performed to that purpose,and giving the usual characterization techniquescommonly used in such processes.
Internacional
Si
DOI
Edición del Libro
1
Editorial del Libro
Transworld Research
ISBN
81-7895-250-5
Serie
Título del Libro
Nitrides and dilute nitrides: Growth, physics and devices (2008).
Desde página
15
Hasta página
46
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Participante: ISABEL TANARRO (CSIC)
  • Autor: M. del Mar Sanz Lluch (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de dispositivos magnéticos del ISOM
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
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