Capítulo de libro:
ROBUST HYBRIDIZATION OF NANOSTRUCTURED BURIED INTEGRATED OPTICAL WAVEGUIDE SYSTEMS WITH ON-CHIP FLUID HANDLING FOR CHEMICAL ANALYSIS
ROBUST HYBRIDIZATION OF NANOSTRUCTURED BURIED INTEGRATED OPTICAL WAVEGUIDE SYSTEMS WITH ON-CHIP FLUID HANDLING FOR CHEMICAL ANALYSIS
Año:2008
Áreas de investigación
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Mecánica de fluidos, -
Polimeros,
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Industria electrónica,
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Materiales magnéticos
Datos
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Descripción
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| We report a method that enables the combination of integrated optical systems with on-chip fluid handling for chemical analysis, without compromising the functionality of either part. Utilizing a selective isotropic plasma etch of a sacrificial chromium etch-stop layer, fluidic connections can be made down to buried nanostructured optical sensing elements in a controlled manner. We describe the fabrication method and present an example application to a label-free assay of protein concentration based on optical slot-waveguide micro-ring resonator refractive index sensors. | |
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Internacional
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Si |
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DOI
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Edición del Libro
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0 |
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Editorial del Libro
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ISBN
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978-0-9798064-1-4 |
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Serie
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Título del Libro
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Twelfth International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences |
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Desde página
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399 |
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Hasta página
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401 |
Participantes
- AUTOR: A. GRIOL (UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE VALENCIA)
- AUTOR: B. SÁNCHEZ (UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE VALENCIA)
- AUTOR: V. GONZÁLEZ-PEDRO (UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE VALENCIA)
- AUTOR: K.B. GYLFASON (KTH-ROYAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY, ESTOCOLMO (SUECIA))
- AUTOR: G. STEMME (KTH-ROYAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY, ESTOCOLMO (SUECIA))
- Autor: Rafael Casquel Del Campo (UPM)
- Autor: Carlos Angulo Barrios (UPM)
- AUTOR: A. MAQUIEIRA (UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE VALENCIA)
- AUTOR: H. SOHLSTRÖM (KTH-ROYAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY, ESTOCOLMO (SUECIA))
- Autor: Miguel Holgado Bolaños (UPM)
- AUTOR: D. HILL (UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE VALENCIA)
- AUTOR: M.J. BAÑULS (UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE VALENCIA)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
- Creador: Grupo de Investigación: Ingeniería y Aplicaciones del Láser
- Centro o Instituto I+D+i: Centro Laser
- Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
- Departamento: Física Aplicada a la Ingeniería Industrial
- Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
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