Observatorio de I+D+i UPM

Descripción
Dispositivo de filtrado de ondas acústicas de volumen BAW, que comprende una pluralidad de filtros, con una pluralidad de resonadores, con frecuencias de resonancia diferentes integrados en un sustrato común, cuyo método de fabricación comprende: - depositar una estructura de aislamiento acústico y eléctrico (2, 3) sobre la superficie superior de un sustrato, - depositar una capa de un metal como electrodo inferior (4) y semilla para el crecimiento de la capa subsiguiente, - depositar secuencialmente una pluralidad de capas delgadas de material piezoeléctrico (5, 6) sobre el electrodo inferior (4), situadas en las posiciones donde un resonador, con la frecuencia correspondiente al espesor de dichas capas, se quiera situar, y su posterior grabado, - eliminar todo el material usado como máscara en el grabado realizado, - depositar, sobre todos los resonadores, una capa metálica de espesor constante, que constituye el electrodo superior (7) de cada resonador de cada filtro.
Internacional	Si
Estado	Concedida
Referencia Patente Prioritaria	P200900936
En explotación	No
Fecha solicitud	06/04/2009
Titulares aparte de la UPM

Esta actividad pertenece a memorias de investigación

• Inventor Contacto: Enrique Iborra Grau (UPM)
• Inventor: Jimena Olivares Roza (UPM)
• Inventor: Marta Clement Lorenzo (UPM)

• Creador: No seleccionado
• Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
• Departamento: Tecnología Electrónica