Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Patentes:
Dispositivo de filtrado de ondas acústicas de volumen
Año:2010
Áreas de investigación
  • Tecnología electrónica y de las comunicaciones
Datos
Descripción
Dispositivo de filtrado de ondas acústicas de volumen BAW, que comprende una pluralidad de filtros, con una pluralidad de resonadores, con frecuencias de resonancia diferentes integrados en un sustrato común, cuyo método de fabricación comprende: - depositar una estructura de aislamiento acústico y eléctrico (2, 3) sobre la superficie superior de un sustrato, - depositar una capa de un metal como electrodo inferior (4) y semilla para el crecimiento de la capa subsiguiente, - depositar secuencialmente una pluralidad de capas delgadas de material piezoeléctrico (5, 6) sobre el electrodo inferior (4), situadas en las posiciones donde un resonador, con la frecuencia correspondiente al espesor de dichas capas, se quiera situar, y su posterior grabado, - eliminar todo el material usado como máscara en el grabado realizado, - depositar, sobre todos los resonadores, una capa metálica de espesor constante, que constituye el electrodo superior (7) de cada resonador de cada filtro.
Internacional
Si
Estado
Concedida
Referencia Patente Prioritaria
P200900936
En explotación
No
Fecha solicitud
06/04/2009
Titulares aparte de la UPM
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Inventor Contacto: Enrique Iborra Grau (UPM)
  • Inventor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Inventor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: No seleccionado
  • Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Departamento: Tecnología Electrónica
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