Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Artículos en revistas:
Super-High-Frequency SAW Resonators on AlN/Diamond
Año:2012
Áreas de investigación
  • Ingenierías
Datos
Descripción
This letter describes the procedure to manufacture high-performance surface acoustic wave (SAW) resonators on AlN/diamond heterostructures working at frequencies beyond 10 GHz. In the design of SAW devices on AlN/diamond systems, the thickness of the piezoelectric layer is a key parameter. The in- ?uence of the ?lm thickness on the SAW device response has been studied. Optimized thin ?lms combined with advanced e-beam lithographic techniques have allowed the fabrication of one-port SAW resonators with ?nger width and pitch of 200 nm operating in the 10?14 GHz range with up to 36 dB out-of-band rejection.
Internacional
Si
JCR del ISI
Si
Título de la revista
Electron Device Letters
ISSN
0741-3106
Factor de impacto JCR
0
Información de impacto
Volumen
33
DOI
Número de revista
4
Desde la página
495
Hasta la página
497
Mes
SIN MES
Ranking
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Juan Rodriguez Madrid (UPM)
  • Autor: Gonzalo Fuentes Iriarte (UPM)
  • Autor: Jorge Pedros Ayala (UPM)
  • Autor: O. A. Williams (Fraunhofer Institute for Applied Solid State Physics (IAF))
  • Autor: D. Brink (Fraunhofer Institute for Applied Solid State Physics (IAF))
  • Autor: Fernando Calle Gomez (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Departamento: Ingeniería Electrónica
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