Ficha
ICTS 2023 Evaporadora por efecto Joule I
Dónde:
Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM)
Ubicación:
Laboratorio del ISOM en la ETSITelecomunicación, Avda complutense 30, 28040 Madridi
Tipología:
Infraestructura Científica y Técnica Singular (ICTS)
Responsable: Jesus García-Arisco Rivera
Correo electrónico:
Sistema para depositar metales por efecto Joule I. Modelo Korvus HEX-L empresa Antares. Este equipamiento es parte de la ayuda ICTS-MRR-2023-07-UPM, financiada por Ministerio de Ciencia, Innovación y Universidades y por la Unión Europea NextGenerationEU/PRTR. Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia - Financiado por la Unión Europea NextGenerationEU.
Semiconductores, nanotecnología
Permite la deposición de metales sobre dispositivos electrónicos para realizar contactos eléctricos tipo n. La evaporación se realizar por ejecto Joule. Dispone adicionalmente de dos sputterings.
Proyectos de investigación en el ISOM y proyectos de ICTS
nanotecnología
