Ficha
ICTS 2024 Equipo de Perfilometría
Dónde:
Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM)
Ubicación:
Laboratorio del ISOM en la ETSITelecomunicación, Avda complutense 30, 28040 Madridi
Tipología:
Infraestructura Científica y Técnica Singular (ICTS)
Responsable: Jesus García-Arisco Rivera
Correo electrónico:
Equipo de Perfilometria. Modelo Tencor P7 KLA suminstrado por la empresa Scientec Iberica. Este equipamiento es parte de la ayuda ICTS-MRR-2024-07-UPM (MNF), financiada por Ministerio de Ciencia, Innovación y Universidades y por la Unión Europea NextGenerationEU/PRTR. Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia - Financiado por la Unión Europea ¿ NextGenerationEU.
semiconductores, nanotecnología
Este perfilometro mecánico permite permite la medida de rugosidad y ondulación hasta 150 mm sin necesidad de hacer stitching. Permite realizar medidas en vertical con una resolucón máxima de
0,01 Angstroms.
Proyectos de investigación y desarrollo en el ISOM y proyectos de ICTS
nanotecnología
