Ficha
ICTS 2024 Microscopio óptico
Dónde:
Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM)
Ubicación:
Laboratorio del ISOM en la ETSITelecomunicación, Avda complutense 30, 28040 Madridi
Tipología:
Infraestructura Científica y Técnica Singular (ICTS)
Responsable: Jesus García-Arisco Rivera
Correo electrónico:
Microscopio óptico motorizado. Modelo DM8000 M sumistrado por la empresa LEICA Microsistemas. Este equipamiento es parte de la ayuda ICTS-MRR-2024-07-UPM (MNF), financiada por Ministerio de Ciencia, Innovación y Universidades y por la Unión Europea NextGenerationEU/PRTR. Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia - Financiado por la Unión Europea ¿ NextGenerationEU.
semiconductores, nanotecnología
Es un sistema de microscopía óptica avanzada motorizada que permitir la inspección, análisis y caracterización óptica de muestras en el ámbito de la microelectrónica y la microfabricación, incluyendo la evaluación de obleas semiconductoras, dispositivos micro y nanoestructurados, películas delgadas y materiales funcionales, mediante técnicas ópticas avanzadas en diferentes modos de contraste.
Dispone de campo claro, campo oscuro, contraste interferencial diferencial (DIC), polarización, iluminación oblicua, ultravioleta (UV) y ultravioleta oblicua (OUV), así como inspección de muestras de gran formato mediante sistemas de posicionamiento motorizado de alta precisión.
Proyectos de investigación y desarrollo en el ISOM y proyectos ICTS
nanotecnología
