Ficha
ICTS 2024 Sistema de Litografía Laser
Dónde:
Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM)
Ubicación:
Laboratorio del ISOM en la ETSITelecomunicación, Avda complutense 30, 28040 Madridi
Tipología:
Infraestructura Científica y Técnica Singular (ICTS)
Responsable: Manuel Abuin
Correo electrónico:
Sistema de litografia por laser. Modelo PicoMaster 100 de la empresa RAITH GMBH.Este equipamiento es parte de la ayuda ICTS-MRR-2024-07-UPM (MNF), financiada por Ministerio de Ciencia, Innovación y Universidades y por la Unión Europea NextGenerationEU/PRTR. Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia - Financiado por la Unión Europea ¿ NextGenerationEU.
semiconductores, nanotecnología
Este sistema de litografía por laser permite realzar litografias sin necesidad de una máscara óptica. El diseño se realiza en CAD y el laser lo dibuja sobre la resina. La resolución del sistema puede llegar a 300 nm.
Proyectos de investigación y desarrollo del ISOM y proyectos de ICTS
nanotecnología
