Ficha
ICTS 2024 Sistema de Plasma de oxígeno
Dónde:
Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM)
Ubicación:
Laboratorio del ISOM en la ETSITelecomunicación, Avda complutense 30, 28040 Madridi
Tipología:
Infraestructura Científica y Técnica Singular (ICTS)
Responsable: Jesus García-Arisco Rivera
Correo electrónico:
Sistema de Plasma de oxígeno. Modelo Tergeo Plus de la empresa Scientec Iberica. Este equipamiento es parte de la ayuda ICTS-MRR-2024-07-UPM (MNF), financiada por Ministerio de Ciencia, Innovación y Universidades y por la Unión Europea NextGenerationEU/PRTR. Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia - Financiado por la Unión Europea ¿ NextGenerationEU.
semiconductores, nanotecnología
Sistema de plasma de oxígeno con RF de alta frecuencia de 13,56 MHz con potencia ajustable hasta 500 W. Puede operar tanto en régimen continuo como pulsado y permite un control preciso del duty cycle, permitiendo la generación de plasmas de baja intensidad adecuados para el tratamiento de materiales sensibles y estructuras nanométricas.
Proyectos de investigación y desarrollo en el ISOM y proyectos ICTS
nanotecnología
