Ficha
ICTS 2024 Sistema de recocido RTA
Dónde:
Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM)
Ubicación:
Laboratorio del ISOM en la ETSITelecomunicación, Avda complutense 30, 28040 Madridi
Tipología:
Infraestructura Científica y Técnica Singular (ICTS)
Responsable: Manuel Abuin
Correo electrónico:
Sistema de recocido RTA.. Modelo RTP de la empresa Photon Export.. Este equipamiento es parte de la ayuda ICTS-MRR-2024-07-UPM (MNF), financiada por Ministerio de Ciencia, Innovación y Universidades y por la Unión Europea NextGenerationEU/PRTR. .Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia - Financiado por la Unión Europea ¿ NextGenerationEU.
semiconductores, nanotecnología
Este sistema permite la realización de tratamientos térmicos rápidos, controlados y reproducibles, incluyendo procesos como annealing de contactos, activación de dopantes, oxidación térmica rápida (RTO), nitruración (RTN), difusión y cristalización de materiales, sobre una amplia variedad de sustratos y dispositivos utilizados en micro y nanofabricación.
Proyectos de investigación y desarrollo del ISOM y proyectos ICTS
nanotecnología
