Ficha
Mask aligner, alineador de máscaras, (OAI Hybralign Series 400)
Dónde:
Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones (CEMDATIC)
Ubicación:
ETSI de Telecomunicación, B08 / Cámara Limpia
Tipología:
Equipamiento científico-Tecnológico
Responsable: Ricardo Hervás García
Correo electrónico:
Alineador de máscaras OAI, 14"
Microtecnología, Nanotecnología, Microelectrónica, Fotónica
Equipo diseñado para la producción de dispositivos de cristales líquidos, MEMS/NEMS, equipo de alta precisión para el alineamiento de los patrones que serán transmitidos a las obleas en el proceso de fotolitografía por exposición de luz ultravioleta.
Diseño y alineamiento de máscaras para procesos de fotolitografía por exposición de la luz UV.
Tipo de alineaminetos: Solo alineación del lado superior.
Fuente de luz: UV 400, 350 - 450nm.
Oculares: 10x.
Capacidad de sustratos hasta 14".
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