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Ataque seco de superficie mediante plasma de oxígeno a baja presión.
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Utilización de equipos de caracterización óptica para la medida de espesores de láminas delgadas e índice de refracción.
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Nano y micro fabricación mediante la técnica de fotolitografía por proyección de máscara para fotorresinas sensibles al ultravioleta.
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Fabricación de láminas delgadas mediante la técnica de spin-coating. El equipamiento del que se dispone ofrece la posibilidad de depositar láminas de espesores delgados controlados…
No se encontraron estructuras de investigación que concuerden con la selección.
